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超快激光加工与微纳制造
超快激光因其超短的脉冲宽度和超高的瞬时功率,能够实现超高精度的微纳加工,轻松突破衍射极限。超快激光加工技术对材料没有选择性,加工过程也非常灵活,可以进行任意复杂结构的加工,丰富了微纳器件的制备种类。超快激光加工技术还能在现有结构或系统上进行集成加工,极大扩展了超快加工技术在光学元件制造、仿生结构、静态光学数据存储、信息处理、机械制造、光纤传感等领域的应用。
时空聚焦飞秒激光加工系统
飞秒激光多光束干涉微纳加工系统
飞秒激光直写加工系统
基于空间光调制器的飞秒激光诱导双光子聚合加工系统